三氯化磷與五氯化磷相似，與光氣亦類似。有強烈腐蝕性。推測成人致死量為1ml。人接觸70mg/m3濃度時可發生急性中毒。長期接觸10mg～20mg/m3可發生慢性中毒。皮膚接觸可直接造成Ⅱ～Ⅲ燒傷。遇水可因生成磷酸及氯化氫而加重灼傷，皮膚接觸三氯氧磷時應立即用干棉布沾凈，再用水徹底沖洗，以沖洗至創面pH值顯中性為止。眼部接觸三氯氧磷時可造成眼灼傷，應加強對眼睛的防護。